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探针材料：氮化硅；针尖形状：球形；微球材料：二氧化硅或 微球直径：2微米至18微米；背面涂层：有

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清洗：采用等离子清洗，无有机物残留，改善成像质量； 均匀性：减少了不同区域的不均匀性； 稳定性： 耐高温，>1000℃； 良好的化学稳定性：图像分辨率和机械强度达到理想的平衡； 化学计量比的SiO2：可用于氮气环境下

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